大国科技之超级复制 第58节

  听到来自周万达的威胁,乔瑞达立马服软,“别呀,周老师,周教授,你如此宽洪大量的人,怎么能跟我一般见识,让我挂科呢。周老师,你不就是想知道后面那辆车上拉的是什么吗,我这就告诉你,那辆车上拉的是一台EUV光刻机。由于设备太过精密,震动,或者温湿度剧烈变化,都有可能影响它的加工精度,这才在车辆上加装了防震措施,又在集装箱上装了空调,以保障内部环境恒温恒湿度。”

  “什么,我没听错吧,你竟然搞来了一台EUV光刻机!这怎么可能呢,连国际光刻机巨头阿斯麦都只有测试样机,没有量产上市的东西,你小子又是怎么搞来的?”乔瑞达说出来的信息太过于震撼,引的坐在后座的周万达惊呼不已,当教授,做科研培养出来的沉稳气质,荡然无存。

  “嘿嘿嘿,对不住了周老师,这个EUV光刻机的来源就真的不能对外说,否则将供货渠道暴露出来,下次就再也拿不到货了。你也是搞芯片的,应该清楚,这些高端光刻机,对咱们华夏大陆都是禁运的。”其实这台EUV光刻机是乔瑞达通过金手指复制出来的,来源本就见不得光,这会儿被周万达问起来,只能编出一个神秘的供货商来,应付一二了。

  “原来是这样,要说你小子也真是厉害,还在测试阶段的新设备,都能搞出来。渠道的事儿,我就不问了,你看能不能通过你的关系,给北大芯片实验室也搞一台EUV光刻机,要多少钱你随便开。”周万达搓搓手,一脸期待的看向正在开车的乔瑞达。

  作为一名芯片制程工艺研究员,周万达太清楚EUV光刻机的威力了。当前市面上主流的浸润式DUV光刻机,常规加工精度是28nm。即使使用套刻、多次曝光等工艺,DUV光刻机的加工精度最多提升到7nm,而且会存在步骤繁琐、加工难度大、良品率低等诸多的缺点。如果有了EUV光刻机,那就完全不同了,EUV由于采用了极紫外光对硅晶圆进行加工,可以把加工精度做到很小,起步就是7nm,具有加工速度快、良品率高、等优点,生产出来的芯片,性能强大,发热低。后续采用一些其他工艺,还能加工出5nm、3nm,甚至2nm的芯片,绝对是未来芯片加工的发展方向。

  “咦,周老师,你又没见到EUV光刻机的实物,也没进行过任何测试,为何会如此看好这台光刻机,不惜重金也要买一台?”这个型号的EUV光刻机的性能,乔瑞达在次元空间内做过测试,这才知道它的厉害。周万达又没做过测试,甚至连这台EUV光刻机的样子都没见过,就如此果断的要花钱求购,当真奇怪。

  周万达嘿嘿一笑,说出了一些乔瑞达不知道的内幕消息,“嘿嘿,这不是见猎心喜吗,EUV光刻机,多么高大上的设备,全世界,只有阿斯麦公司能生产,而且只有几台样机,尚未量产交付。如果咱们北大的芯片实验室能够搞到一台,即使不能用于芯片的量产,只用来搞一下尖端芯片的流片测试,和7nm以下芯片加工工艺的摸索,也是赚大了。

  咱们北大芯片实验室内,那套芯片生产线你也见过,都是五年前的老家伙了,即使我们做了不少的改造升级,生产40nm芯片,已经是它的极限了,在也没有什么潜力可挖。而且存在着生产成本过高,合格率低下等诸多缺陷。早在去年的时候,我和老师,参加了你们瑞达电子厂芯片生产线的安装和调试工作,当时看到你们那套浸润式DUV光刻机、和配套生产线,我们就羡慕的不行。回到学校之后,我老师就打报告上去,申请经费,对芯片实验室的生产线,进行更新换代。

  奈何此次设备升级,需要的费用太大,一些核心的设备还不太好买,那份申请报告在上级机构那里卡了一年,最近才批复下来。本来这次跟你一起来德诚市,就想着拜托你帮忙采购几台DUV光刻机和刻蚀设备,没成想更先进的EUV光刻机你小子都搞得来。有EUV在,谁还要落后的DUV呀,你说是不是。”

  “原来如此,帮你搞一台EUV光刻机也不是不行,不过这东西的价格可不便宜,你要做好准备,我也不知道你们实验室有没有这么多钱。”乔瑞达沉吟一番,最终还是给出了一个肯定的答复。国内做芯片设计的公司和科研院所很少,搞先进芯片制程工艺研发的单位就更少了。随着瑞芯晶圆厂的建立,对芯片合格率的提升,和对先进制程工艺的追逐,就不会停止。到时候和北大芯片实验室的合作会很多,同时北大也能为瑞芯晶圆厂提供大量芯片领域的高端人才。现在冒着金手指曝光的危险,卖给他们一台EUV光刻机,也算是提前投资,支持母校了。

  “国际上最先进的DUV光刻机售价就要五六个亿,难道EUV光刻机的售价更贵?”说到价格,周万达的心里就真的没底了,毕竟上面批下来的资金有限,他也不知能能不能买的起EUV光刻机。

  “你这话说的,多新鲜呐,生产28nm芯片的DUV光刻机的售价都要6万左右。可以生产7nm芯片的EUV光刻机,卖的比DUV光刻机价格更贵一些,不是很正常吗。我也不瞒你,后面货车上这台EUV光刻机,是我花费10亿买回来的,这还没算上渠道费用和运费。”(本章完)

227.第227章 纵论EUV(下)

  这还真不是乔瑞达狮子大张口,EUV光刻机的真实售价就是有这么贵,如果卖的便宜了,反而会惹人怀疑。更何况,如今刚刚12年,距离阿斯麦的EUV光刻机,量产上市还有整整四年时间。提前那么多年,拿到EUV光刻机的成熟产品,不管是提前摸索下一代制程工艺,还是拆了仿制,都有着大量的文章可做,反正不会亏就是了。

  “嘶十亿一台,竟然比DUV光刻机贵那么多,经费有限,原计划的两台光刻机,肯定是买不起了,一台又不太够用,真实让人头疼。”

  听到乔瑞达对EUV光刻机的报价,周万达直嘬牙花子。10亿的价格贵吗,从成本上来说,简直贵到家了,整台光刻机,使用的材料再珍贵,其原材料成本充其量不过上千万,不可能再高了。花费1000万生产出来的设备,售价10个亿,这其中的暴利可想而知。但是从技术角度来说,10亿的售价那是一点都不贵,原因无他,EUV光刻机的技术含量实在是太高了。

  在EUV之前的光刻机都是迭代开发的,上一代的技术,升级一下,大多可以拿到下一代产品,继续使用,如此一来研发费用就可以大幅的降低。但是到了EUV这里,受限于极紫外光的性质,不能再使用成熟的组合透镜方案,否则大量的光线会被透镜吸收,只能重新开发一套反射镜光路系统。如此一来,以前的迭代开发就行不通了,只能全部推倒,从头开始研发,使用到的技术,和前代产品完全不一眼,研发费用自然是水涨船高。这台EUV光刻机,可是十几个国家,几十家研究所,上万名顶尖科研人员,耗费十几年研究出来的设备,售价再贵也是合理的。

  乔瑞达无奈的耸耸肩,说道:“价格就是这个价格,想要便宜,基本是不可能的。给你透个底,这台EUV光刻机的加工速度和加工精度,比DUV光刻机高太多了,而且兼容12英寸和8英寸的晶圆。在使用12寸晶圆的情况下,其加工速度,比DUV光刻机快三倍不止,所以说卖10亿价格,还是非常超值的。”

  “好吧,你的话打动了我,等到了德诚市,见到老师,我会跟他说一下采购EUV光刻机的事。要说这外国佬的心也太黑了,一台设备卖十亿,简直比抢钱还过份。要是咱们国内的厂商能生产EUV光刻机就好了,价格指定能降下来,可惜呀咱们得科研院所连第一级的DUV光刻机都搞不定,更不要提EUV光刻机了。”周万达叹了口气,对国内的光刻机产业,那当真是哀其不幸,怒其不争。

  “这也不能怪他们,毕竟咱们国内在光刻机的研发方面投入很少,人材也没多少,巧妇也做不了无米之炊不是。其实EUV光刻机的全套图纸我都能搞到手,只是我们公司没有那么多的专业人才,也没有那么多的资金,启动不了这么大的项目。”乔瑞达宽慰了周万达一句,顺便放下一个带着钩子的香饵,静待鱼儿上钩。

  “什么,你说真的!乔瑞达同学,你真的能搞到全套EUV光刻机的图纸,这可是通天的大事,来不得半点的马虎。”周万达惊呼一声,然后一脸激动的扒拉着乔瑞达的肩膀,要找他问个究竟。

  “哎哎哎,周老师,周教授,你要冷静,冷静一下,没见我正在开车呐,难道你想来个车毁人亡不成。”在周万达的拉扯下,奔驰商务车,在道路上划出一个大大的S,吓的乔瑞啊赶紧靠边停车,以免出现车毁人亡的事故。

  “是啊,周老师,说话就说话,千万不要上手。瑞达还在开车,为了咱们三个人的安全,也不能如此做呀。”坐在副驾驶位上的杜青青也在跟着一同劝说。

  “抱歉抱歉,一时冲动,没注意轻重,这不是谈到EUV光刻机图纸,我大激动了吗。”周万达收回手,十分歉然的说道。

  这时候,身后的车队已经赶了上来,对讲机里传出后车司机的声音,“乔总,你的车出故障了吗,要不要我们停下来,帮你修一下车?”

  乔瑞达拿起对讲机,按下通话键回复道:“我的车没事,刚刚停车是出了一点小意外。你们不用管我,继续往前走就好,路线和目的地我已经提前告诉你们了,路上注意开稳一点,注意车距。”

  “好的乔总,那我们就先走一步了,咱们回头见。”

  通话结束,一辆又一辆的集装箱货车从奔驰车旁边开过去,直到十几分钟后,车队才全部通过。现在是在高速公路上,乔瑞达也不敢太长时间占用应急车道,在确定周万达不会乱来之后,就发动机车,跟在了车队的后面。

  “乔同学,咱们继续聊一下EUV光刻机的事情呗,你真的能搞来全套图纸。”十几分钟后,周万达终于回复了冷静,开口继续询问光刻机图纸的事儿,听其口气,依旧有些急切。

  “据我所知,EUV光刻机上使用的大多数技术,阿斯麦公司都申请了专利,咱们即使拿到了图纸,也不好仿制的吧?”乔瑞达如是询问道。

  周万达嘿嘿一笑,说道:“嘿嘿,这你就是只知其一不知其二了。EUV光刻机确实申请了不少的专利,但是他们申请的是国际专利和西方国家的专利。为了防止咱们通过专利文件反推技术,仿制光刻机,阿斯麦并没有在咱们华夏申请相关专利。如果咱们华夏的公司,能根据图纸,仿制出EUV光刻机,完全可以在国内申请专利,在国内使用,只要设备不出口到国外,就不算是专利侵权。”

  “不是吧,专利还能这样玩,如此做,真的不违法吗?”周万达的说辞,令乔瑞达惊诧万分,他从没想过,还能采用这种方式规避专利。

  “如果是在其他领域,如此操作确实不妥,有很大的风险。但是在光刻机领域,你完全可以放手去干。”(本章完)

228.第228章 设备吊装

  “原因也很简单,国内没有相关专利,西方又对国内禁运EUV,甚至是DUV光刻机。哪怕是为了打破西方对该技术的垄断,国内也会鼓励相关领域的研发。至于国际专利什么的,涉及到大国博弈,专利算个屁。”周万达说的话虽然粗俗,却也是事实。

  “好吧,你说的对,不过我们瑞达科技公司规模太小,研发人员有限,专业也不对口,承担不起研发EUV光刻机的重任。等我弄来了EUV的图纸,就拜托周老师替我交上去,让中科院或其它专业研究所牵头来搞吧。”光刻机这个东西,技术含量太高,涉及到的领域实在是太多,乔瑞达想要研发也力有未逮。但是那一堆的图纸,放在脑海之中发霉,简直太浪费了,干脆交上去,让国家头疼去吧。

  周万达朝乔瑞达伸出一个大拇指,夸赞道:“乔同学真是深明大义,未来的某一天,国产EUV光刻机真的生产出来,绝对少不了乔同学的一份功劳。”

  由于光刻机和其它一些精密设备怕震动,车队行进的速度一直提不上去,同样的路程,比平时多跑了一个多小时,直到下午两点钟,才到达德诚市。从高速路口下来之后,乔瑞达开车,引领着整个车队,慢悠悠的穿过整个市区,来到了瑞芯晶圆厂所在的南郊。

  “快看,远处来了一个车队,直奔咱们厂过来了。”

  “这应该就是乔总带领的车队了,嚯,这车队可真够长的,让我数数,竟然有五十多辆大货车。”

  “这么多的货车,还是乔总亲自带队,都拉了一些什么东西呀?”

  “听说是一批全球最顶尖的芯片生产设备,具体细节乔总没说,说是给咱们一个惊喜。”

  “咱们先前从码头拉来的那批设备,就非常的先进了,浸润式DUV光刻机,28nm刻蚀机都有,完全是世界顶级水平。比这个更先进的芯片生产设备,会是一些什么东西,EUV光刻机吗?”

  “别开玩笑了,怎么可能是EUV,那东西只有阿斯麦有,而且只是测试样机,能不能用来加工芯片都不好说。就算相关设备已经成熟了,也不可能出售给国内呀。”

  从中午过后,林孟松就带着一众工厂高管和技术人员,来到瑞芯晶圆厂门口等待。如今一个多小时过去了,终于等来了乔瑞达,和它带领的车队。

  “快,快,打开大门,将车队放进去。”林孟松指挥着工作人员,将工厂大门打开,然后亲自开着一辆电瓶巡逻车,带着车队,开进厂区,开到66号无尘车间面前。在这里早已有两辆大吨位起重机,放下支撑,等待作业,66号无尘车间的棚顶也打开了一部份,以方便设备的吊装。

  乔瑞达将奔驰车停在了靠近边缘的位置,将场地让给了后面的货车。车门打开,乔瑞达、杜青青、和周万达先后下车。林孟松带着几名工厂高管,迎了过来,“乔总,杜经理,还有周教授,欢迎你们来到瑞芯晶圆厂。”

  双方人员,早在瑞达电子厂的那两条芯片生产线安装调试的时候,就见过,甚至一起工作过,算的上是老熟人。

  乔瑞达握住林孟松的手,说道:“最近一个月,又要维持瑞达电子厂的芯片生产,又要兼顾瑞芯晶圆厂的设备安装和调试,辛苦林总工了!”

  “乔总,你太客气了,这是我的本职工作,辛苦点也是应该的。再说了,咱们这可是国内第一座28nm先进工艺晶圆厂,看着它从无到有,一点一点的建立起来,那种成就感,自豪感,简直让人太让人着迷了。”林孟松颇为自豪的说道。

  乔瑞达拍拍林孟松的手,意味深长的说道:“等车上这些设备卸下来,安装到位,你会更加自豪的。”

  这时候,周万达插话进来,问道:“林工,怎么没看到老师和我那些师兄弟?”

  “你说的是王院士吧,他正带着团队在车间里调试设备呢。前几天,我们刚刚完成了一条芯片生产线的安装工作,目前正在进行试生产,以调整参数,提高芯片合格率。现在生产线还在开着,离不开人,王院士就带着团队,留在了那边。”林孟松开口回答道。

  “哎呀,就不能找人替换一下老师吗,接下来要开箱的这套设备,可是国内独一份,错过了这个重要时刻,老师肯定后悔。”说罢,周万达拿出手机,就要给王院士打电话。

  听到周万达如此说,林孟松也来了兴趣,问道:“到底是什么设备,值的如此兴师动众的?乔总,难道这就是你在电话里说的那个惊喜,看这又是空调,又是减震泡沫的,这个集装箱里,到底装了什么东西?”

  “呵呵,剧透就没意思了,还是等到吊装到位,再揭晓答案吧。”乔瑞达微笑着卖了个关子,就是不说车上的设备是什么。

  就在几人说话的功夫,跟在他们后面的那辆拉着EUV光刻机的货车,已经开到了空地中心。待货车停好之后,几名工作人员马上爬上车,打开集装箱和货车之间的连接装置,而后将吊装用的钢索,挂在提前预留好的钩挂上。

  “好,起,起,慢一点,稳一点,向右转,对,注意车间开口的位置,平稳的放下去……”在专业人员的指挥下,集装箱顺利的转移到了无尘车间内。而后同样的步骤,应用在了后续几辆货车上。当然,并不是所有的设备,都有这个待遇,前面几台设备,太过精密,对温湿度有着严格的要求,这才需要整体吊装。后续的大多数设备,没那么精贵,都是打开集装箱,将设备卸下来,再用吊车吊进车间。

  两台吊机一直忙碌了两个小时,才把所有的设备,吊进无尘车间。而后无尘车间的顶棚闭合,除尘,恒温,恒湿设备开启,等待车间内部环境达到要求,才能进行下一步的安装。(本章完)

229.第229章 惊喜

  在此期间,在周万达的一再邀请下,王成业院士将手头的工作,交给了学生,也来到了吊装现场。

  “我说小周,你这么急吼吼的把我喊过来,不会就为了让我看这两台吊车吊装设备吧?同样的场景,我这些日子天天看,已经不新鲜了。”

  “嘿嘿,老师,我让你看的可不是这些普通设备,真正的惊喜在车间里面呢。走,咱们去换无尘服,进车间去揭晓答案,看到它,保证让你大吃一惊。”周万达也没有揭晓最终答案,毕竟说出来,就不叫惊喜了。

  打发走车队和吊车之后,乔瑞达和林孟松也换上无尘服,进入了车间。

  王成业院士,围着一个乳白色的集装箱,转了好几圈,这才停下,好奇的询问道:“看这集装箱的尺寸和外部设备,里面装的是光刻机吧?不过这体积是不是太大了一些,比隔壁厂房那台最先进的DUV光刻机还要打不少。”

  “嘿嘿,老师,您老真是慧眼如炬,这个集装箱里面,装的确实是光刻机,不过具体型号,我就不提前透露了。等过一会儿,环境调节到位,咱们亲自上手,打开它。”周万达抚摸着面前的集装箱,眼神格外灼热。虽然从乔瑞达那里知道了这个集装箱里,装的是EUV光刻机,但成熟的EUV光刻机到底长得什么样,和阿斯麦公司公开展示的样子是否一致,他依旧充满了好奇。

  乔瑞达和林孟松二人是最后进入车间的的,此时安装在车间顶层的大型除尘和空调设备,已经工作了好长一段时间,车间内的环境已经基本达到了无尘,和恒温恒湿要求。王院士和周万达,已经指挥着一众工程师,上手拆卸集装箱了。

  有道是人多力量大,上百名工程师,拿着各种工具,一起动手,几个整体吊装进来的集装箱,全部打开,里面的设备,揭开了神秘的面纱,展现在了大家的面前。看到第一台设备,大家就齐齐倒抽一口凉气,为全球变暖做出了一份卓越的贡献。

  “Extreme Ultra-violet,极紫外光刻机,嘶你确定这个没标错,国内真的能买的到极紫外光刻机。”

  “应该是EUV光刻机没错了,看这尺寸,看这体积,比DUV光刻机大太多了。再来看看这反射镜,看看这复杂的光路,绝对是EUV光刻机没跑了。”

  “要说还是咱们乔总神通广大,连阿斯麦尚未量产的设备,都能搞得到,真是太利害了。”

  “这台光刻机的工件台也太大了吧,难道是为了加工12英寸晶圆设计的?”

  “很有可能呀,其实不止是光刻机的工件台大,后面的几台设备,放置晶圆的平台,同样很大。我猜测,这整条芯片生产线,很可能就是按照加工12寸晶圆设计的。”

  “看来以后的晶圆加工厂,使用12寸晶圆将成为主流,毕竟使用12寸晶圆单颗芯片的成本更低,加工速度更快,效率更高。”

  “咱们国内还没有工厂能生产12寸硅晶圆吧,等这条生产线开起来,晶圆片难道全部从国外进口,那生产成本可高到天上去了。”

  “成本高一点也不怕,EUV光刻机的加工精度比DUV可高多了,加工费用自然也要水涨船高。只要咱们这条生产线能够量产,就是全球独一份,害怕赚不到钱。”

  “听说EUV光刻机的加工精度,起步就是7NM,现在咱们有了EUV光刻机,那岂不是可以加工制作7nm芯片了。”

  “生产7nm芯片,可不是换一台光刻机就完事儿的,还需要配套的耗材和刻蚀机,离子注入机等设备。而且EUV光刻的加工步骤,和DUV光刻的加工步骤完全不同,还需要咱们慢慢的摸索,才能逐步掌握。想要批量生产7nm的芯片,至少也是几个月之后的事情了。”

  “咦,道你们就没发现,这台EUV光刻机上,没有标注任何的品牌和生产厂家信息,生产日期也没有,各种按钮上的标注还是中英文对照的,难道这台设备,并不是阿斯麦生产的?”

  “应该不能吧,从业内公开的信息来看,目前全球范围内,掌握EUV光刻机生产技术的,就只有阿斯麦一家。”

  “我刚刚特意看过了,不光是光刻机没有品牌和生产厂家标识,其它设备上,同样没有这些。”

  “也就是说,这些设备,全部是三无产品,那质量能靠谱吗,咱们老板不会被人坑了吧。”

  “应该不会,可能是设备太先进,担心惹麻烦,故意把品牌、生产厂家,生产日期等信息抹去的。”

  无尘车间内,一百多名工程师,围着一台EUV光刻机,指指点点,议论纷纷,那表情,或狂热,或疑惑,或质疑,或两眼放光,不一而足。其实这套芯片生产线上的所有设备,和次元空间内的那套设备一样,皆是复制自十年后,品牌、生产厂家、生产日期什么的,和现在的品牌、厂家、日期根本对不上号,为了避免麻烦,复制的时候,乔瑞达故意把这些信息抹去了。与此同时,乔瑞达还对产品包装、使用说明、维护手册等东西,进行了深入的修改,所有和年代日期有关的东西,全部被他删掉了。如此一番操作后,任谁也发现不了,这些设备的真实来源。

  乔瑞达拍拍手,吸引了大家的注意力之后,说道:“时间宝贵,大家就不要在这里做一些无异议的讨论了,下面我进行一下简单分工,王院士、周老师、林总工,和我一起安装这台EUV光刻机,一组负责安装天车,二组负责安装旋涂机、清洗机,和刻蚀机……”

  随着乔瑞达一声令下,围聚在一起的工程师们,快速分开,按照小组为单位,彼此分工合作,忙碌起来。震惊过后的王院士,走到乔瑞达的身边,朝他伸出一个大拇指,说道:“乔同学,你是真的牛,连严格禁运的EUV光刻机都能搞的来,买这台大家伙,花了不少钱吧?”(本章完)

230.第230章 生产测试(上)

  “采购价格在1.2亿欧元,折成人民币大概10亿左右,再加上一些渠道费、运输费之类的,11亿以内可以搞定。”乔瑞达如是回答。

  听到这个价格,王院士的嘴角不由抽搐了一下,很显然,EUV光刻机11亿的售价实在是太夸张了一些。沉吟了好一会儿,王院士似是下定了某种决心,对乔瑞达说道:“乔同学,我有件事情想拜托你一下,你能不能通过你的渠道,给咱们北大的芯片实验室采购一台EUV光刻机,价格就按照你说的来。”

  很显然,王院士和他的学生周老师想到一起去了,北大芯片实验室这次更新设备,为的就是追踪最新芯片加工工艺,与其花五六亿采购DUV光刻机,还不如一步到位,花11亿采购一台EUV光刻机,至少在未来十几二十年之内,不会落后。

  “这个没问题,具体交易细节,咱们下班后再商议。”乔瑞达爽快的答应了下来,如果这个交易能达成,那是即赚了钱,又支援了学校实验室的建设,如此一举两得的事情,当然不容错过。

  接下来几个小时,乔瑞达和一众工程师都在忙碌着安装设备,一直到晚上八点,大家才停下手上的工作,下班休息。走出无尘车间,乔瑞达混在人群中,和王院士、周老师,说着话,往食堂的方向走。

  吃过晚餐之后,乔瑞达将王成业院士和周万达教授,邀请到办公室,继续商谈采购EUV光刻机的事情。三人就采购价格、交货日期、设备性能,配套耗材等话题,做了详细的交流。王院士并没有第一时间确认定单,而是想着过几天,等这条包含EUV光刻机的生产线安装到位之后,测试一下EUV光刻机的加工精度,以及加工效率,如果确实优秀,再下单采购,这毕竟是一宗价值11亿人民币的巨额交易,马虎不得。

  在谈话期间,周万达再次说起乔瑞达可以拿到EUV光刻机全套图纸的事情,这让王院士激动不已,拉着乔瑞达的手,再次确认道:“乔同学,你真的能拿到EUV光刻机的全套图纸?这可能会影响到后续一系列的研发计划,来不得半点马虎。”

  乔瑞达认真的点点头,说道:“王院士,我很确定能拿到图纸,不过需要一段不短的时间。你也知道EUV光刻机的结构非常复杂,零件众多,所有图纸全部画出来,能堆满几个屋子。为了不让对方发现,只能将图纸蚂蚁搬家式的弄出来。”

  乔瑞达之所以如此说,那是因为EUV光刻机的图纸和相关技术资料,如今只保存在他的大脑之中,想要弄出来,转移到电脑上,或者打印出来需要的时间可不短。这还是有着海量次元傀儡,帮助画图,手打文件的情况下,如果让乔瑞达一个人弄这些东西,怕是忙碌十年,也弄不完。

  “这个我理解,可以慢慢来,只要你能先期弄出部分图纸和资料来,我就可以拿去申请立项EUV光刻机研发项目。等项目批准,资金和人才到位,至少也是半年之后的事情了,有这段时间,足够你搞来全部的图纸了。”王院士在以前参与过光刻机研发项目,对其复杂程度,有着清晰的认识,所以对时间上并不着急。

  “据我了解到的信息,EUV光刻机,是由十几个西方发达国家,几十家全球顶尖公司,携手搞出来的东西。这其中就包括卡尔蔡司提供的反射镜模组,由丑国Gigaphoton公司提供的极紫外激光器,瑞典提供的轴承零件,Keysight提供的测量器件等等。要仿制EUV光刻机,只靠咱们华夏一个国家,真的能完成吗?”乔瑞达提出了他的疑惑,连阿斯麦的EUV光刻机都是万国造,博采众家之所长,国内只靠一己之力,仿制EUV光刻机真的靠谱吗。

  “乔同学,你可不要小看咱们国内的工业实力,要知道咱们国家拥有39个工业大类,191个中类,525个小类,是全世界唯一拥有联合国产业分类中全部工业门类的国家。而且咱们国家有着集中力量办大事的优良传统,如果说全球范围内,有一个国家可以凭借一己之力完成EUV光刻机的生产,那肯定是咱们华夏。更何况咱们又不是闭门造车,一些国内确实搞不定的部位,完全可以拿到国际上去招标,我始终相信,没人会跟钱过不去。”王院士年轻的时候,可以参与过多次技术大会战的人,对国内的技术实力和体制优势,有着充分的认识。

  “好吧,听到王院士如此一分析,我这心里就敞亮多了。我会尽快将图纸弄出来,为国产EUV光刻机的尽快诞生,出一份力。”乔瑞达决定,今天回去就安排一些次元傀儡,开始绘制EUV光刻机图纸,争取在一个月内,将图纸和技术资料全部搞定,交到王院士手上。也算是他这个重生者,为了祖国的科技发展,做出的一份贡献了。

  接下来半个月,乔瑞达和林孟松、周万达等人,一直在66号无尘车间内泡着。五一七天的假期过了,就打电话给辅导员,再次请了半个月的假,有着王院士和周教授给乔瑞达站台,请假当然没问题。

  安装这条芯片生产线用了四天时间,调试设备,却花了十天时间。这还得益于乔瑞达提前在次元空间内,搭建了一条同样的生产线,摸索出了各台设备的参数设置和生产流程,现在不过是将那些参数设置,从次元空间搬到现实中来。半个月后,生产线调试完成,乔瑞达立马抽调最精干的一批操作工人,来到66号无尘车间,开始进行第一次试生产。说起这批工人,还是过去这半年时间里,林孟松等人,在瑞达电子厂那两条芯片生产线上培训出来的。这批工人每一个都有着本科以上的学历,集成电路、微电子、自动化或相关专业毕业,有着扎实的理论基础,和不俗的动手能力,这才能在半年内,初步掌握芯片生产线的操作技巧。(本章完)

231.第231章 生产测试(下)

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