高永明在前面带路。
当众人穿过二十米左右走廊，门禁系统自动识别，并将玻璃隔离门打开。
连续走过数道门禁，陈星也终于见到了光刻机。
与网络上的缩小图片不同，真实观感的光刻机，简直就是像一辆小型客运车辆。
长宽高约为六米、三米、三米，整体外观像一个巨大的白色集装箱，里面则是装有来自全世界各个先进国家生产，并由荷兰ASML公司组装的十万多个精密零部件。
高永明也上前一步，为众人讲解道：“这是28纳米制程的DUV光刻机，它使用的是193纳米波长的深紫外光源，可以一次性将28纳米、34纳米、48纳米及以上纳米制程的芯片曝光出来，是目前我们龙芯国际生产的主流机器。”
“如果想要生产20纳米芯片，那这台28纳米制程的光刻机精度与分辨率就不够用了，需要用到更先进的20纳米制程光刻机。”
“各位请继续跟我来。”
高永明简单介绍了28纳米制程的光刻机，继续向前带路，陈星等众人又跟着走了二十米左右，通过了一道门禁。
当进入到另一台光刻机区域，陈星也不由得惊叹，这台光刻机占地面积就大了。
高度可能要到四米，宽度可能还在三米，但长度至少七米，甚至达到了八米！
如此庞大的体积，这台光刻机的减震平台与钢结构外壳，肯定是做了全面升级的。
高永明看向这台巨大光刻机时，眼神流露出一抹自豪，郑重宣布道：
“这台！就是我们最新订购的荷兰ASML公司，20纳米制程DUV光刻机，单台售价2.2亿，有了它，龙芯国际也正式步入了20纳米级芯片代工企业行列。”
20纳米芯片代工，这已经勉强紧跟世界前列了。
如果能实现自主量产，那龙国主流的28纳米芯片，或许要提升至20纳米级了。
龙芯国际的一小步，却是龙国芯片发展的一大步。
听闻光刻机价格，陈星不由得心中惊叹，2.2亿买一台光刻机，工艺技术还需要自己摸索，芯片行业果然不是普通企业可以玩的。
光是这么苛刻的运行环境，不投入上亿元资金去建造，哪怕有光刻机也没有用。
光刻机可不比其他机器，它可太娇贵了，任何一点干扰都有可能让光刻机光源受到影响，从而影响最终生产。
曲程则是抓住重点，不解问道：“你是说龙芯国际刚步入20纳米，那么14纳米芯片呢？”
“啊…这个…”
高永明有些风中凌乱。
他现在很想说一句，你们来的时候也没说要做14纳米芯片啊！
这时候，站在高永明身旁的龙芯国际工程师开口了。
“是这样的曲老，我们购入的这台是DUV光刻机，它的光源是193纳米波长的深紫外光，它不是EUV光刻机，发射不出13.5纳米波长的极紫外光，想制造14纳米芯片，或许…额…还有些距离。”
“造不出？”
曲程愣了愣，随即疑惑道：“不对啊，冯承铭上次说你们已经把14纳米提上日程了。”
冯承铭，龙芯国际的首席工程师，同时他也是龙科院的院士。
高永明：“……”
破案了！
他就知道有人在吹牛逼！
一个敢吹，一个敢…
不！
一群院士他是真敢信啊！！！
两位龙芯国际的工程师也反应过来，他们算是知道了，为什么冯承铭首席连夜说身体不舒服，跑去帝都看病。
寻思吹完牛逼，自己先跑了？
高永明和两位工程师很尴尬，现在不知道怎么解释了，特别还是面对的曲程。
陈星暗皱了下眉头，他看着龙芯国际支支吾吾的三人，似乎隐约猜到了什么。
而且听他们话里的意思，没有13.5纳米波长的极紫外光EUV光刻机，那就造不出14纳米芯片，这趟难道白跑了？
一旁的曲程面色铁青，心里已经咒骂了冯承铭上百遍，怪不得他连夜发朋友圈说身体不舒服，要去帝都养养身体，寻思，你个老小子在吹牛逼？
吹就算了！
还把一群院士都给骗了！
曲程现在有些下不来台，这实在是太尴尬了。
本来人家想选台积电代工，结果他们这几个老家伙打着包票，让陈星选择龙芯国际，结果居然连合适的光刻机设备都没有？
丢尽脸了！
没脸见人了！
曲程老脸铁青的同时，脸颊还有些发烫，如果再让他选一次，他就让汪纪戎来了。
起码是丢他的脸，不是丢他曲程的脸…
“也就是说，龙芯国际目前只能代工20纳米芯片是吗？”
陈星打破尴尬气氛。
虽然浪费了一两天时间，但无所谓，全当给院士们面子了，毕竟没有他们，轻舟14纳米处理器芯片没这么快设计出来。
龙芯国际不行的话，那就找其他的代工厂。
“还…还有一点点距离…”
一位工程师颤颤巍巍回答。
20纳米到14纳米，你就说是不是一点点距离吧？
陈星微微叹息，没有13.5纳米波长的极紫外光EUV光刻机，哪怕有红色品质光刻人才，估计也起不到作用了。
让他手搓？
他总不可能搓台EUV光刻机出来吧？
听着众人的交谈对话，林天整个人陷入了沉默，他没想到龙国的设备基础这么差，居然连台EUV光刻机都没有，被限制得太狠了吧？
“唉！”
陈星叹息一声，他没纠结，为曲程与高永明几人圆场道：
“看来我们龙国的芯片企业还是要加把劲啊，不过这次也没白来，可以近距离参观到光刻机，也能正视到与西方的差距，今后可以奋起直追。”
台阶搭好，曲程与高永明自然想顺势而下。
然而还不等他们开口，林天却语气认真地向陈星说道：“如果总裁需要，20纳米制程的DUV光刻机通过多重曝光技术，它是可以制造出14纳米级芯片的，但需要付出数倍的流片费用。”
第78章 授业之恩，今生难忘
“多重曝光技术？”
站在高永明右侧的工程师露出抹不解，他叫唐鑫宇，是龙芯国际光刻团队的副首席。
他好像听说过，但记不起来在哪听过了。
“没错。”
林天点了点头，语气坚定道：“DUV光刻机是可以制造14纳米芯片的，它的极限远不止于此，理想状态是能到7纳米。”
高永明：“！！！”
唐鑫宇：“！！！”
曲程：“！！！”
DUV光刻机极限居然是7纳米？
你在开什么玩笑？
陈星也被惊到了，如果真能使用一台20纳米制程的DUV光刻机造出7纳米芯片，那西方会不会对此大跌眼镜？
别看明面上，米国还没下场封锁技术，但背地里，其实早就限购光刻机了。
它的做法很简单，可以卖你龙国光刻机，但不能卖给你最先进的光刻机。
例如两年前，28纳米还属于先进水平的时候，28纳米制程的DUV光刻机就不能卖给龙国，谁敢卖，就是和米国作对。
荷兰敢吗？
显然是不敢的，它们也没有这个本事。
荷兰ASML公司说白了，它就是个光刻机组装工厂，没有米国的光源技术，它啥也不是。
而到了今天，西方攻克了14纳米芯片后，已经把目光看向了7纳米芯片，自然而然的，20纳米DUV光刻机就被放开了。
米国目的很明显，允许用，但不允许你超越。
越是害怕，越会提防，因为龙国才脱离战争不到三十年，就发展到了世界第二大经济体，再给发展三十年会怎么样？
沉睡的雄狮，东方的巨龙，它们哪敢不防？
陈星虽然是商人，但同时也是位龙国商人，如果能在自家搞出14纳米芯片，那他还是愿意多支付一些流片费用的。
毕竟曲程也说了，之前龙兴科技公司申请的国家芯片扶持也走完审核流程，资金和土地都进入了最终的批准环节。
“说说使用这个多重曝光技术，流片要多少钱？”
陈星表明自己态度。
林天得到确切的答复后，述说自己的想法道：
“光刻多重曝光技术，说通俗直白一点就是，原本只需一块的芯片掩膜版就可以搞定的生产，现在我们因为光刻机精度和分辨率的限制，将它拆分多块，每一块都有相对应的电路图案。”
“比如我们要做14纳米芯片，可以把设计的芯片电路图案拆开，就得到了两份28纳米间隔的电路图案，分两次把它们刻在硅片上，就会形成完整的14纳米芯片电路图案，就类似于我们龙国的太极图，一阴一阳互补的意思。”
“因为是两块芯片掩膜版，所以要给双倍的流片费用。”
陈星大致听明白了，这个多重曝光技术就相于要印刷一个AB字母的组合图案。
第一步先把AB拆开，得到A与B两个图案，然后将它们分别制作光掩膜版，紧接着用第一块A字母的掩膜版在硅片上刻了A，再用B字母的掩膜版在硅片上刻上B，最终得到所需要的AB组合图案。
八个字概括就是，精度不够，工序来凑。
“要花两倍的流片费用，高总，14纳米的……”
陈星刚想问问流片费多少，却发现高永明整个人止不住颤抖，瞳孔微缩的同时，充满了恍然大悟与激动之色。
他身旁的两位光刻工程师，也在喃喃低语。
“多重曝光…”
“既然单次精度不够，为何不分两次曝光呢？”
“好天才的想法…”
三人似乎进入了顿悟状态，高永明本身就是干这方面的，同时也是光刻领域的教授，他自然不会听不懂林天在说什么，现在他脑海只有一段话：“多重曝光技术，DUV光刻机的春天终于要来了吗？”
一阴一阳的图案互补，理论上是绝对可以的，而且还能一分为四，虽然工序更复杂，还别说，7纳米芯片真能造！
曲程也在惊叹这个想法，他怎么说也是半导体领域院士，虽然不是光刻方面的，但步骤他可都是一清二楚的。