这他么是220nm的光刻机啊，搞我玩儿呢吧，而且这玩意儿用的是i线365nm的光源啊！
华为利用SAQP技术实现4倍精度的光刻，这其中有多困难，只有做过才知道。
而且良率从几乎没法看到现在的渐渐提高，也经历了非常漫长的时间说白了，这玩意是实在没办法了才去搞的。
如果国内有EUV，何至于费这么大的劲！
“10倍精度！22nm！”杨工程师确认道。
“你们用的什么方法？”于东没有怀疑杨工骗他，这东西就在这儿，骗他没有任何意义，纪弘想跟他谈什么，也不差这一点筹码。
“最简单的方法。”杨工程师也是认真的回复道：“就是把需要光刻的图分到多个掩膜版上，然后一遍一遍的重复光刻-刻蚀-光刻-刻蚀……就这样。”
“这……”这种方法于东当然知道，就是最原始的方法。
但是精度怎么控制啊？这东西在所有的工艺节点上，量产工艺，就没有做过双重以上的，最多就是双重。
理论倒是非常简单，但做起来那是非常的困难。
不仅是工件台的移动精度问题，有非常多的问题需要解决。
稍微对不准一点，一重一重的累积下来就会是天文数字，最终导致全盘都失败。
换句话说，你动一下都需要保持nm级别的精度，既然有这个技术，直接去改造光刻机都比这个更容易。
“来，看看我们的历程吧。”没等杨工回答，纪弘引着于东来看这几天产线在做什么。
“与传统提升工艺的过程不同，”纪弘介绍道：“类思维AI在这里发挥了巨大的作用。
“刻-刻蚀-光刻-刻蚀，也就是LELE这种双重曝光技术之所以引起套刻误差，不能四重甚至更多重的LELELELLE，是因为精度不好把握。
“但，对于我们来说，这反倒是最简单的。对准嘛，机械重复就好了，一次不行那就多来几次。”
这个过程困难吗？
对于一般的产线来说，非常困难。
因为误差有多少，不下产线去检测就不可能知道。
一次光刻之后，按程序移动，然后二次光刻，所有流程结束了，上检测线了，上封测线了，才能知道哪儿出了问题，良率多少，是不是能够满足量产需求。
不能的话，去调整，重复上述过程，直到满足需求。
但宏图微电子这儿呢？就好像里边住了个人。
机台动了一下，光刻尚未进行：“我对准了没？”
“好像还差一点。”
“现在呢？”
“往右一点。”
“这会儿呢？”
“往左一点。”
“现在呢？这回总可以了吧？”
“嗯！刻吧！”
这一刻，精准无比，别说刻三次五次，哪怕十次更多次，只要计算好了，那也完全都没有问题。
当然，真正的过程不可能是描述的这个样子，但如果拟人化的话，大概是这么个意思。
这就叫做精度不够，“微调”来凑。一步不到位，咱慢慢调。
当然，这个慢也是相对的如果传感数据计算好了，由人来判断和调整，那是真叫慢光电所的超爆光刻机所面临的就是这个问题。
但这个时候判断是否对准以及做出决策的，是类思维AI工业模型结合机器视觉以及维纳传感，这速度立即就上去了。
……
而于东看着这几天的数据，人有些麻。
这东西还不是一天成型的，从数据中可以明显看出，第一天的时候，双重曝光都还有些费劲，效果很不理想。
但成长贼快随着一次又一次的尝试，一次又一次的训练，这套系统是越来越强，直到今天自己看到的这样一种十倍精度光刻的效果。
而这说起来还要多亏了王华新院士这个【微纳制造与智能传感技术】国内顶尖专家，如若不然，还真不一定能够达到现在的这种训练效果。
(本章完)
第133章 我倒要看看，他们怎么反应！
在高分辨率的光刻机上也能达到十倍吗？
如果能，那岂不是可以直接实现3nm级别的工艺了？直接赶上全世界最先进制程！
“想什么呢？”纪弘一笑：“这玩意跟芯片制造本身一样，分辨率越高越困难。但是……”
“但是什么？”纪弘没想大喘气，就是稍微顿了一下，于东直接就破不接待的接上了。
“现在的所谓5nm，3nm什么的也不是实际线宽呐，都是所谓的等效。所以，实际能做到什么程度，还得试过才知道。”
“我还有一个问题。”于东问道：“你们这个产线，光刻机是经过一定程度改造的吧？如果硬件不满足需求，光靠AI不能行吧？”
“嗯。”纪弘没有否认，也没必要，一看就知道，用到了机器视觉，不改造的尼康老光刻机哪有这玩意儿啊！
改造二手低端光刻机，国内有成型的产业链和相关企业，但是改造阿斯麦28nm的光刻机，谁来？
其实还是那句话：你都这么干了，为什么不直接提高光刻机的精度呢？难度其实差不多。
“所以，没法搞？”于东笑了笑，他知道纪弘肯定有想法，要不然带自己来这里的意义是什么呢？
“我让你看工业AI训练成果的！”纪弘无语道：“尼康的老光刻机硬件基础太差了，我们才需要大幅度的改造硬件以满足我们系统智能化的需求。
“但是阿斯麦的高端光刻机不需要吧？硬件本身是足够强大的！”
“只需要改造系统？”于东瞬间明悟。
“大概率。”到了这个程度，纪弘没有什么隐瞒：“但能不能达到十倍不好说。只能说，实现真正的5nm，不会有问题。”
“包括沪上微电子的S800系列，我推测，硬件系统都是足够的，要不然也不会一直在验证，而且年年发明年交货。精度不够，或者良率提不上来，大概率也跟系统有关。”
刘向东院士走之前跟纪弘说了很多，包括验证机良率的问题，无法交付的原因。
用刘向东院士的话说，单个部件拆下来去测试，所有的部件都是符合设计要求甚至是超出的，但是组装到一起，就是达不到预期的效果。
这不是系统控制问题还能是啥问题？
光刻机的整机系统以及各个子系统的控制系统，确实是一个非常庞大且复杂的东西，甚至比硬件本身都要复杂。
但这对于卷耳智能科技来说……
“所以，沪微的28nm光刻机如果真的找卷耳智能科技合作，们也是能搞定的？”于东来的时候觉得处处危机，但是这才半天，怎么觉得处处机遇了呢？
十倍光刻，光电所超爆分辨率的光刻机，沪上微电子常规路线的光刻机，好像个个都有成功的机会和可能。
那阿美瑞肯还限制个什么劲？
……
“所以，你是有什么计划？”于东总觉得纪弘在憋着一个大的。
两人从产线回到了纪弘的办公室，坐到这里，他就想起来两个人第一次见面的时候，也是差不多的场景，见到卷耳智能科技的“世界模型”，被秀了一脸的他拿着一份报告，惊为天人。
而此刻，他怀着几乎一模一样的心情，上次想的是系统调度，而这次，是真正的5nm。
而这一切，都绕不开一个关键的核心AI，还是AI！
早就有人说，AI是下一个时代，这一点在卷耳智能科技身上体现的淋漓尽致所有的东西只要一沾上，那就立刻有进步有突破。
怪不得阿美瑞肯这一次动静这么大这样的AI，这样的能力，换谁也不可能坐得住。
于东这个时候，只能感慨：幸亏不是敌人而且卷耳智能科技对国内企业真的非常友好。
“我的计划，整合所有产线资源，现有的国内高端产能，用来生产5nm的高端芯片。稍次一些的，去生产7nm级别的芯片。
“沪上微电子的SSA800/20或者光电所的超分辨率光刻机商用能成一个，用来填补生产10~28nm工艺节点的芯片。
“现有库存或者二手光刻机，65nm~110nm的光刻机递次使用，我已经跟国内几家做二手光刻机倒卖的企业联系了国内的先囤着，他们现在主要在国外市场收二手光刻机，先把量堆起来。”
于东沉思了一会儿，这里边最重要的其实就是高端产能，而这些产能多数是华为在使用，这大概也是纪弘要找华为谈的原因，这是想让华为分享出来？
“你是真有计划一劳永逸？彻底解决芯片的忧虑？”于东就算反应再慢，这个时候也明白过来纪弘想干什么了，不过，这野心是否太大了些？
“说实话，卷耳智能科技原本是没有计划做传统芯片的，包括CPU、GPU内存存储这些。”
纪弘笑了笑：“但是，有人不是想零部件零流入吗？甚至要断我们的民用芯片，包括英特尔AMD的电脑处理器这些，以此威逼我们妥协。
“我觉得他们可能下不了这个决心，既然如此，那我们就帮它下。我们对CPU的调度能力你见识过了，国内卷耳系统已经超过微软了。
“搞个新架构，做个CPU很难吗？我们就算不亲自做，联合龙芯海光去搞，难道就搞不成？我觉得有人失了智，得让他们清醒清醒。”
“~吁~”于东长吁了一口气，就知道会是这样纪弘说过，只要不拖他的后腿，那就可以一直合作，但只要拖后腿，那……
他猜到了，但是经纪弘的嘴说出来，他依然觉得十分震撼！
做CPU简单！
这话换成任何一个其他人来说，于东大嘴巴抽他麒麟多少年了才做到这个程度？龙芯多少年了？还不堪大用呢！也就神威，在超算领域算是有一席之地。
到卷耳科技这，纪弘上来一句：做CPU很难？于东还得应和：
“国内立志搞CPU的企业也很多，如果有类思维AI的加持，有调度优化模块，设计这一块我觉得没难度。哪怕搞新架构新指令集，只要操作系统配合，那也不会有很大问题。”
“耳语系统在设计之初就在架构层面考虑着未来换架构换指令集的事情，真要换，分分钟的事儿。”纪弘透露了一点点消息。
于东就更加震撼了，好家伙，这还提前有准备！
但也有无法回避的问题，于东必须提前说：“但是，我们的高端产能不够。如果沪微或者光电所的光刻机能成一个，解决的也是中端的问题。”
扶持一个国内企业搞CPU，自己要搞层叠GPU，还有华为的麒麟和腾，那么点产能，怎么够分啊！
就算是卷耳智能科技，华为答应让出一条产线，就已经是利益交换的结果了，再多，怕是也不好办，主要是本来就没多少。
“移动处理器和高端GPU用高端制程，电脑CPU不用，功耗高一些也无伤大雅，大不了加大电源和大风扇，这都是能克服的，关键是态度要摆出来。
“别人一亮剑，我们就往回缩，这不是好现象。卷耳智能科技就是要把脖子伸出去，我倒要看看，他们怎么反应！”
……
于东走了，还是那句话，很多事情不是他所能做主的，他得回去汇报。
而卷耳智能科技这边，没等于东回到鹏城，就搞出了一个大新闻基于类思维AI的电子设计自动化工具灵韵（220nm~65nm）公开测试版发布。
工具纵然强大，但很多人已经见过泄露视频了，因为已经做过心理建设，此刻倒也没有初见时那么震撼了。
但里边有一个模块，让从业者无不惊呼这又是奔着掀翻整个行业来的！
(本章完)
第134章 基于AI的EDA灵韵突然发布，里边究竟有什么？
人工智能能干什么？
自从这个概念诞生以来，人们就对它充满了想象。
无数科幻小说或者电影都有着相关的描写，并给人留下了深刻的深刻印象。